半導體行業專用
帽檐商品
可針對要求低發塵性、高精度等的半導體制造裝置進行商品提案。
交貨
機械人搬運
晶片輸送機械人
採用用途
機械人手臂的驅動，機械人的運行
要求行駛時的高停止位置精度、高速性、低發塵性。
電纜保護鏈條
根據使用環境推薦低塵商品。
TKP型MW規格
這款高性能電纜保護鏈條採用“特殊的高滑動性材料”，可提高電纜和管道的保護性能，並減少灰塵產生。
POINT
低塵、高通用性
TKR型
通過帽檐獨特的彎曲結構，實現了低發塵、低噪音、低振動。
POINT
- 清潔度ISO等級3 (公司內部試驗結果)
- 靜音性
動力鎖聯軸器
不鏽鋼規格
無電解鍍鎳規格
豐富的產品陣容和可靠的質量，滿足您的環境需求
POINT
清潔、耐腐蝕性、高通用性
時規皮帶
超級時規PX皮帶 HC規格
超級時規PX皮帶 HY規格
追求高精度、高強度的傳動帶
這款傳動帶的設計旨在實現更高的精度和強度，有助於打造更緊湊的設備。它能最大限度地減少磨損粉的飛濺，確保清潔運作。此外，我們還提供強度和剛度更高的HY規格。
POINT
高精度、高速度
滑輪
鎖緊式皮帶輪鍍層
這是時規皮帶輪。各部件的表面處理提高了耐腐蝕性，並可實現無需潤滑的乾式緊固。
POINT
簽訂零折扣、簡單安排
清潔輸送係統
天花板搬運係統
Autran Vanguard
在天花板空間實現清潔運輸
重物輸送(max.200kg)、從集電部產生的灰塵為零 (非接觸供電)、直接輸送到制造裝置。通過安裝清潔組件，可維持工件的高清潔度。
POINT
集電部不產生灰塵，搬運重物 (最大200kg)
升降
AMR滾輪傳送
在 AGV 和 AMR 的升降機構中使用咬合式鏈條傳動裝置有助於降低地板高度。
POINT
節省空間，低樓層
Zip Chain系列
咬合式鏈條傳動裝置
一種用途廣泛的直線作動機，即使在狹小的空間內也能安裝。
節省空間，可對應高速、高頻率運行，與油、空壓氣缸相比，可大幅削減耗電量。可進行高精度多點停止，安裝方向自由。
AMR升降
液壓升降機、鋼絲方式
停止精度低，升降機和地面之間產生臺階
桿式螺釘
難以實現長行程
Zip Master有解決方案！
POINT
- 高精度:減少換乘時的落差
- 更快:縮短節拍時間
- 高揚程:最高可達4m
Zip Chain系列
Zip Master
只需將其放置在Zip Chain上，即可高速升降懸臂式升降機
它採用「放置型」設計，只需放置即可使用，其高速、高頻率和高提升力使其適用於各種用途。
蓋開關機構
電動升降機(Lift Master)用於升降設備蓋。我們還可以提供一種結構，允許手動旋轉支撐蓋的機械手臂。
POINT
安裝操作簡單，清潔無漏油
懸臂式升降機
電動升降機(Lift Master)
採用滾珠絲桿/梯形螺桿懸臂式升降器，可實現高精度多段定位
「放置型」設計使得生產線佈局靈活，操作簡單。電氣化改善了工作環境，並有助於節能。
清潔支持
可減少各部件產生的灰塵。
- 特殊表面處理（滾珠絲桿導引）
- 不銹鋼護罩
- 清潔潤滑脂塗抹（滾珠絲桿/導軌）
- 烤漆
滾輪垂直迴圈輸送
在吊掛設備的提升段，環形吊架之間採用免加油鏈條。由於無需外部供油，因此減少了設備維護工作量，並透過抑製油濺，有助於實現清潔的工作環境。
POINT
- 減少維護工時
- 保持清潔環境
免加油傳動鏈條
免加油鏈條
採用特殊含油套筒免加油鏈條
它採用特殊含油套筒，具有自潤滑性能，免加油即可長期使用。
旋轉傳動
晶片研磨裝置
許多應用實例表明，TD 減速機能夠最大限度地減少旋轉波動，從而驅動表面板旋轉。此外，還使用了傳動皮帶、皮帶輪以及用於驅動電刷的減速機。
採用點
高傳輸容量
緊湊
旋轉不均勻性小
檢查裝置的反轉機構
探針的反轉機構採用TD 減速機。
此外，晶圓台的運動部件中還使用了電纜保護鏈條、皮帶和滑輪。
採用點
高強度&輕量・緊湊
自鎖性、安靜性
減速機
TD 減速機
高性能蝸輪減速機
更薄更小，傳輸容量更高
即使接地面積有限，它也比其他公司生產的通用蝸輪減速機具有更高的傳動能力。
低振動
蝸輪蝸桿透過滑動接觸傳遞力，其振動比其他使用螺旋傘齒輪減速機（透過滾動接觸傳遞力）要小，從而改善了最終產品的表面光潔度。
角度傳遞誤差 (旋轉不均勻度) 小
與螺旋倒角等減速機相比，角度傳動誤差約為 1/10，從而使旋轉更平穩，最終產品的表面光潔度也得到改善。
小型齒輪電動機
這是一款結構緊湊、易於使用且高效的減速機。我們可以根據您的應用需求，建議最佳的馬達、軸系佈置（平行軸/直交軸）和輸出軸形狀（實心/空心）。
Zip Chain系列
咬合式鏈條傳動裝置
中號和大號
POINT
推力MAX38.2kN
行程MAX5000mm
速度MAX1000mm/s
即使在狹小的空間內也能安裝，
多功能直線作動機
高速&高頻度運轉、卓越的停止精度與控制性、緊湊性兼備的橋梁獨自的直線發動機。
時規皮帶和皮帶輪
非常適合需要精確定位和高同步性的應用
椿時規皮帶能夠高頻、高速運轉，且使用壽命長。
請與原廠皮帶輪搭配使用，以充分發揮PX系列皮帶的高強度、高拉伸性能。
DC無刷馬達戟齒輪減速機
這是一款可靠的電機，它結合了變頻器驅動和伺服電機的優點。
通過內置溫度感測器，實現了馬達的燒毀保護。
TERUS系列
也可以將齒輪馬達與蝸輪減速機結合使用。這種高功能齒輪馬達兼具蝸輪的高強度和齒輪馬達的高效性，從而實現更緊湊的設備結構和更少的零件。
了解有關TERUS系列的更多信息
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支持、引導、保護
電纜支撐引導是否存在此類問題?
來自電纜保護鏈條（包括同類業者）
- 希望減少因磨損粉黏附而導致的產品缺陷
- 我想節省空間
- 更好地保護纜線管
從扁平電纜管
- 減少電纜軟管彎曲
- 我想抑制彈跳
CLEANVEYOR和FLATVEYOR可以解決各種各樣的問題。
移動舞臺
FLATVEYOR用於支撐和引導舞台活動部件中的電纜。
採用裝置
曝光機，粘合劑，安裝器等
採用點
低揚塵、低振動、防斷線
晶圓盒的轉移
用於藥液槽間的移載電纜的支撐導向。
支撐桿可以長行程。
採用裝置
清洗裝置
採用點
低粉塵產生，長行程
CLEANVEYOR
清潔度ISO等級1
在燕尾電纜、軟管支撐導向裝置中，發塵最低。
實現ISO等級1的清潔度，最適合在潔淨室內使用。
36dB (A) 以下的低噪音與彎曲次數1000萬次以上※的長壽命。*內部測試結果
低塵
將電纜、管道和支撐部件存放在艙內，可防止磨損粉散落。
它還能有效防止因電纜滑動或相互幹擾而導致的電纜斷裂風險。
減少安裝工時
內置專用的電纜和管子，安裝夾具提供。可以順利地安裝到裝置上。
多級結構對應
最多可裝6層※可對應。*內部測試結果
關於CLEANVEYOR更多詳情
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FLATVEYOR
清潔度ISO等級2
Tsubaki獨有的自立式扁平電纜係統。
它內建獨特的支撐結構，使其能夠進行長行程操作。根據使用條件的不同，它配備專用電纜和導管。
低塵
為提高產品的成品率做贡獻。
長行程
最大行程可對應2.8m。
(ZP規格最長1.8m)
扁平電纜 (第三方)
FLATVEYOR（椿本製造）
斷線對策
最多可裝6層※可對應。*內部測試結果
彈跳抑制
防止設備外圍設備與電纜發生幹擾。
扁平電纜 (第三方)
FLATVEYOR（椿本製造）
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FLATVEYOR ZP 規格
易於使用
- 電纜管的取放方便，可部分更換。採用彎曲性、耐久性、滑動性良好的帽檐獨創的開閉軟管。
- 實現了清潔度相當於ISO 2級。(根據本公司內部試驗結果)
電纜保護鏈條 塑膠系列
PVDF規格
真空用途
通過使用特殊氟樹脂，可有效應對真空環境下的排氣。
另外，還具有優異的耐藥性。
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