透過實現長行程輸送，同時抑制晶圓清洗系統中的粉塵產生，可以改善工件缺陷率。
TKR型電纜保護鏈條
課題
長行程、磨損粉和粉塵產生
行業
液晶、半導體、電子設備、通信
用途
支持/導向
產品
電纜保護鏈條
概述
在大量式全自動晶圓清洗系統中，採用了支援長行程應用的 TKR28H52-EX電纜保護鏈條，以適應長距離的工序間傳輸。
TKR型為低發塵產品，有助於改善因發塵而導衹的工件不良率。
課題
在批量式全自動清洗系統中，由於電路板尺寸較大，輸送距離增加，因此使用了能夠處理長行程通用電纜保護鏈條。
然而，對於通用電纜保護鏈條，滑動部件產生的粉塵會導致磨損粉附著在產品上，造成工件缺陷。
採用的產品
TKR型電纜保護鏈條
此系列產品採用無連接結構，消除了引腳和針孔，達到了 ISO 1 級潔淨度，是塑膠系列開放式產品中最潔淨的系列。
與通用的TKP型相比，低噪音、低發塵有助於降低環境負荷。
可對應幹燥環境規格 (對應低濕度環境) 等特殊規格。
不使用歐洲RoHSII指令所限制的閾值以上的特定有害物質。(不包括要存放的纜線管)
產品採用的效果
TKR28H52-EX 採用高耐磨、高滑動的材料，消除銷和銷孔之間的滑動磨損，從而實現了低粉塵產生和長行程。
因此，即使在晶圓清洗過程中進行長時間的工序間轉移，也可以使用單一電纜保護鏈條進行處理，這有助於抑製粉塵的產生，並有助於提高工件的缺陷率。
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