平板顯示器 (FPD) 制造設備需要具有低塵規格的氣缸，以便在潔淨環境中也能放心使用，因為微塵或灰塵容易附著在玻璃表面上，從而導衹產品缺陷。

此外，為了提高生產率，有必要提高運行周期和耐久性，同時確保高停止精度也是一個問題。

通常情況下，灰塵和灰塵會從防塵罩的氣孔泄漏並粘在玻璃表面上，但通過採用低塵防塵罩並在防塵罩安裝部分安裝空氣管，可以防止灰塵飛散到外部。實現了即使在幹淨的環境下也能使用的減少灰塵。

さらに、製品特性（推力・速度・頻度）を装置仕様に合わせた特殊対応とすることで、運転サイクルを向上させ生産性の改善に貢献。加えて、カタログ品インダクションモータをサーボモータに変更することで、高精度な停止制御も実現。ガラス搬送時の停止精度を確保しました。