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晶圓輸送機器人設備可實現長行程、更低的粉塵產生量和更小的振動。

電纜保護鏈條

課題
磨損粉和粉塵的產生
行業
液晶、半導體、電子設備、通信
用途
支持/導向
產品
電纜保護鏈條

概述

之前,通用型TKP型電纜保護鏈條用於保護機器人橫向移動部分的電纜和管道,機器人需要移動距離當設備內部的運輸距離延長時,採用了粉塵產生量更低、噪音更小、振動更小的型號,從而提高了產品產量和設備運作穩定性。


課題

隨著晶圓尺寸的增大和PLP(面板級封裝)技術的普及,輸送機器人的移動距離也隨之增加。在傳統的輸送設備中,電纜保護鏈條安裝在晶圓和FOUP(光纖封裝單元)下方,因此通常採用通用型的TKP(傳輸輸送機)型號。然而,為了提高產品良率,必須提升設備的整體潔淨度,這就需要一種具有低粉塵產生、低振動和低噪音等優異性能的電纜系統。


採用的產品

TKR型電纜保護鏈條

ピンとピン穴を持たないリンクレス構造とすることで清浄度ISOクラス1を実現した、プラシリーズオープン形の中でもっとも清浄度が高いシリーズです。

汎用的なTKP形と比較して低騒音、低発塵により環境負荷低減に貢献します。

ドライ環境仕様(低湿度環境に対応)など特殊仕様の対応が可能です。

最大ストローク5.94mに対応するEX仕様もございます。

欧州RoHSⅡ指令で制限されている閾値以上の特定有害物質は使用していません。(収納するケーブル・チューブを除く)


產品採用的效果

透過將通用型TKP型號更換為無鏈節、無銷軸或銷孔的TKR型號,我們有效防止了電纜保護鏈條本體產生磨損粉塵,從而提高了產品良率。此外,TKR型號的高靜音性和低振動特性也確保了設備的穩定運行,並改善了生產環境。

彎曲段的結構設計和材料經過優化,在保持彎曲靈活性的同時,憑藉其剛性實現了長行程。隨著TKR28H52-EX型號的發布,即使在以往TKR型設備無法使用的長距離輸送設備中,現在也能達到高潔淨度等級。


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