晶圓輸送機器人設備可實現長行程、更低的粉塵產生量和更小的振動。
電纜保護鏈條
課題
磨損粉和粉塵的產生
行業
液晶、半導體、電子設備、通信
用途
支持/導向
產品
電纜保護鏈條
概述
之前，通用型TKP型電纜保護鏈條用於保護機器人橫向移動部分的電纜和管道，機器人需要移動距離當設備內部的運輸距離延長時，採用了粉塵產生量更低、噪音更小、振動更小的型號，從而提高了產品產量和設備運作穩定性。
課題
隨著晶圓直徑增大和PLP（面板級封裝）的日益普及，輸送機器人的移動距離也隨之增加。在傳統的輸送設備中，電纜保護鏈條安裝在晶圓或FOUP（光纖到戶單元）下方，因此通常採用通用型的TKP（隧道式機器人）型號。但為了提高產品良率，必須提升整套設備的潔淨度，這就需要一種低粉塵、低振動、低噪音的電纜系統。
採用的產品
TKR型電纜保護鏈條
採用無連接、無銷釘或針孔的TKR型結構，此系列產品達到ISO 1級潔淨度標準，是塑膠系列開放式射出成型機中最潔淨的系列。與通用型TKP型相比，它噪音更低、粉塵更少，有助於降低對環境的影響。
可對應幹燥環境規格 (對應低濕度環境) 等特殊規格。不使用歐洲RoHSII指令所限制的閾值以上的特定有害物質。(不包括要存放的纜線管)
產品採用的效果
透過將通用型TKP型號更換為無鏈節、無銷軸或銷孔的TKR型號，我們有效防止了電纜保護鏈條本體產生磨損粉塵，從而提高了產品良率。此外，TKR型號的高靜音性和低振動特性也確保了設備的穩定運行，並改善了生產環境。
彎曲段的結構設計和材料經過優化，在保持彎曲靈活性的同時，憑藉其剛性實現了長行程。隨著TKR28H52-EX型號的發布，即使在以往TKR型設備無法使用的長距離輸送設備中，現在也能達到高潔淨度等級。
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