防塵是半導體製造設備中的關鍵問題。傳統上，採用的是TKR型除塵器，它是塑膠系列中最乾淨的開放式除塵器，但由於其工作位置在晶圓上方，因此需要進一步減少粉塵的產生。

当初、クリーン度の向上が可能なことに加えTKR形と同じようにケーブル・チューブの挿入がユーザー側で可能なフラットベヤZP仕様の採用を検討しましたが、当該装置の量産の計画もあったことからフラットベヤの採用としました。ケーブル・チューブが溶着された状態で一式納入されるモデルのため、そのまま装置に取り付けるだけとなりクリーン度の向上だけでなく装置への組み付け工数が大幅に削減できました。