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實現無塵室內的協作機械人橫行部的低發塵化和安全性的提高

FLATVEYOR ZP 規格

課題
磨損粉和粉塵的產生
行業
液晶、半導體、電子設備、通信
用途
支持/導向
產品
電纜保護鏈條

概述

為了減少通用型晶圓製造設備中電纜保護鏈條和電纜/管材產生的粉塵(這一直是晶圓製造設備的問題),FLATVEYOR ZP 規範採用了將電纜/管材收納在可開啟的 PVC 管中的設計。這不僅解決了以往型號的粉塵問題,也改善了生產環境並提高了產品良率。


課題

在半導體制造現場,為了提高產品的成品率,在無塵室內的制造設備中抑制滑動部分產生的灰塵成為了課題。

在現有設備中使用的傳統通用電纜保護鏈條,有時會出現因電纜保護鏈條本體或內部電纜和管道產生的灰塵而污染晶圓等產品的問題。


採用的產品

電纜保護鏈條FLATVEYOR ZP 規格

自持式扁平電纜係統,採用PVC管,具有獨特的帽檐開合結構,具有良好的彎曲性、耐久性和滑動性。

實現清潔度ISO等級1,為成品率改善做贡獻。

不使用歐洲RoHSII指令所限制的閾值以上的特定有害物質。(不包括要存放的纜線管)


產品採用的效果

與通用電纜保護鏈條不同,我們曾考慮使用CLEANVEYOR,它可以將電纜和管材收納在艙狀薄片中。然而,考慮到電纜和管材的內容物可能會發生變化,我們最終決定採用FLATVEYOR ZP 規格,該規格允許現場重新佈線。

這減少了無塵室中粉塵的產生(粉塵是造成污染的原因之一),並提高了產品良率。此外,由於FLATVEYOR ZP 規格採用柔性 PVC 管體,降低了與協作機器人移動部件附近工作人員接觸的風險,從而全面改善了生產環境。


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