應用實例:直線直線作動機- 高頻運行

應用實例

半導體基板清洗裝置


這是一個可以自動清洗人造基材的設備。
將裝有基材的籃子在清洗液中上下搖晃,以去除表面的雜質。
為了確保清除所有雜質,千斤頂在短時間內多次伸出和縮回。
此時,千斤頂的負荷時間率接近 100%。
採用適用於高頻操作的高速千斤頂。


採用要點

  • ·對應連續伸縮的高頻率運行
  • ·為了確實去除汙垢的高速運行