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椿本產品選擇
在無塵室中使用的半導體、液晶制造&檢查裝置等中,比起極度討厭產生塵粉的工件部分,更多用於上部的可動部分。另外,與工件相比,下部的可動部分也可用於存在產生塵粉飛揚問題的裝置的下部。
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