課題

需要選擇一種緊湊的電動執行器，該執行器具有低地板和節省空間的設計，可以在不顯著改變現有設備佈局的情況下直接集成到設備中。

此外，在安裝半導體曝光設備的清潔環境中，異物汙染導衹產品缺陷和產量下降，因此必須將灰塵風險降至最低。

採用的產品

咬合式鏈條傳動裝置

互鎖鏈（Zip Chain）是我們公司獨家研發的一種鏈條，其中兩條鏈像拉鍊一樣相互連接，形成一根可以「推拉」的堅固桿。

咬合式鏈條傳動裝置是一種採用這種機制的全新直線作動機。

Zip Chain可以收納在緊湊的盒子裡，與傳統的直線作動機相比，可實現巨大的空間節省。

支持高速、高頻率運行，與油壓、空壓氣缸相比，可大幅削減耗電量。

可高精度地進行多點停止，安裝方向也自由。

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產品採用的效果

透過使用咬合式鏈條傳動裝置，無需改變設備佈局即可實現自動化，從而以最小的設計工作量實現快速自動化。

通過1000mm/s的高速運行，為提高生產效率、提高現場作業效率做出了贡獻。

此外，通過採用清潔潤滑脂，灰塵風險也大大降低。

即使在清潔環境下也能穩定運行，有助於保持產品質量。