課題

既存の装置レイアウトを大きく変更せずにそのまま装置に組み込める、低床で省スペース設計のコンパクトな電動アクチュエータの選定が求められていました。

さらに、半導体露光装置が設置されているクリーン環境下では、異物混入が製品不良や歩留まり低下につながるため、発塵リスクを最小限に抑えられることが必要でした。

採用的產品

咬合式鏈條傳動裝置

互鎖鏈（Zip Chain）是我們公司獨家研發的一種鏈條，其中兩條鏈像拉鍊一樣相互連接，形成一根可以「推拉」的堅固桿。

咬合式鏈條傳動裝置是一種採用這種機制的全新直線作動機。

Zip Chain可以收納在緊湊的盒子裡，與傳統的直線作動機相比，可實現巨大的空間節省。

支持高速、高頻率運行，與油壓、空壓氣缸相比，可大幅削減耗電量。

可高精度地進行多點停止，安裝方向也自由。

製品情報ページ

お問い合わせ

產品採用的效果

ジップチェーンアクチュエータの採用で、装置レイアウトを変更することなく自動化を実現。少ない設計工数でスピーディな自動化が実現できました。

1000㎜/sの高速運転により、生産性の向上・現場作業の効率化にも貢献しました。

また、クリーングリスの採用により、発塵リスクも大幅に低減。

クリーン環境下でも安定した動作が可能となり、製品品質の維持につながりました。